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Das, im kalifornischen Silicon Valley sitzende, Unternehmen Applied
Materials will künftig Kobalt einsetzen, um die mikroskopischen
Kupferdrähtchen, welche die immer winzigeren Transistoren auf
Chips für Computer und andere Elektronik miteinander verbinden,
voneinander abzuschirmen. Bisher wurde dafür vor allem Tantal
verwendet.
Das "Wall
Street Journal" zitiert den Applied-Materials-Manager Sundar
Ramamurthy "Das sei der erste nennenswerte Durchbruch bei der
Verbindungstechnik seit 15 Jahren". Durch die fortschreitende
Miniaturisierung werde die Verkabelung auf den Chips immer länger
und komplexer, so könnten die Kupferfäden der Chips auf
einem typischen 12-Zoll-Wafer zusammen gut und gern 100 Kilometer
lang sein.
Die resultierenden Chips würden bis zu 80 Mal elektrisch zuverlässiger,
wenn man die Drähtchen mit Kobalt an Stelle von Tantal abschirmt,
sagt Applied. Ein weiterer Vorteil ist, dass Kobalt im Gegensatz
zu Tantal kein sogenannter Konfliktrohstoff ist.
Applied Materials hat eine Erweiterung seiner Produktlinie "Endura
Volta", mit der Kunden Kobalt vermittels Chemical Vapor Deposition
(CVD) auf ihre Halbleiter aufbringen können, angekündigt.
Laut Ramamurthy stehen bereits 75 solche CVD-Kammern zu Testzwecken
bei Kunden. Sie dürften aber erst in größeren Stückzahlen
kommen, wenn die Chiphersteller ihre Produktion auf noch kleinere
Fertigungsprozesse umstellen. Offenbar darf Moores Law also
noch ein Weilchen weitergelten
(mt, hannover)
(siehe auch Tecchannel
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